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于制造芯片的影响并不明显。
在这几个核心部件当中，最为重要也最难制造的部件，就是光源系统。
目前为止，最先进的是ASML公司的EUV�
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于制造芯片的影响并不明显。
在这几个核心部件当中，最为重要也最难制造的部件，就是光源系统。
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